12英寸氮化鋁晶圓加熱盤（heater） 12英寸氮化鋁晶圓加熱盤是鈞杰陶瓷生產的又一款用于半導體設備上的重要陶瓷部件，目前該產品性能可完全比肩進口原裝件，經過國內多家設備廠商的實際使用，具備良好的熱導性，溫度控制均勻，能滿足晶圓加熱的需求。目前該產品的外形尺寸為&